超聲波清洗的效果好壞取決于空化作用，而空化作用的產生與超聲波強度有關。在通常情況下，單位面積聲功率超過0.3W/cm 2(輸出電功率一般大于1W)水溶液就能產生空化。在一定范圍內，超聲波強度越大，空化作用越明顯，也就說清洗效果越好。但太高的功率密度會由于空化作用太強而引起對工件的表面侵蝕使制件受損。另外當功率密度增加到一定程度就會出現飽和現象，清洗效果反而會下降。 產生空化的功率密度臨界點與頻率還有關系，頻率越高，產生空化的功率密度越大，例如16--20KHz時，功率密度臨界點大約為0.3--0.4W/cm2;26--30KHz時，功率密度就選為0.5--0.8W/cm2;30--40KHz時，功率密度應選為1--1.2W/cm2 。
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